Kính hiển vi điện tử quét/truyền qua HD 2700

Trong các lĩnh vực khác nhau từ R&D đến kiểm tra chất lượng của vật liệu tiến tiến nano và thiết bị bán dẫn, thì nhu cầu cần phải cải thiện độ phân giải không gian và hiệu suất phân tích cho kính hiển vi điện tử đang ngày càng gia tăng trong những năm gần đây. Hiệu chỉnh quang sai cung cấp một giải pháp ưu việt cho những nhu cầu đó. Hitachi High Technologies trước đây đã thương mại hóa kính hiển vi điện tử với khả năng hiệu chỉnh quang sai cầu, từ đó tiếp tục theo đuổi khái niệm về cung cấp cả năng suất cao và hiệu suất cao có được từ sự hiệu chỉnh quang sai. Dòng STEM HD-2700 với bộ hiệu chỉnh quang sai mới được phát triển của Hitachi đã thành công trong việc hiện thực hóa khái niệm trên.

STT	Mô tả
	w/o Cs-corrector	w/Cs-corrector
Phân giải hình ảnh	0.204nm (ở độ phóng đại 4,000,000x)	0.136nm (hỉnh ảnh HAADF-STEM) 0.105nm (FFT) (ở độ phóng đại 7,000,000x)(Hrlens)
Độ phóng đại	100x -10,000,000x
Thế gia tốc	200kV, 120kV*, 80kV*
Tín hiệu hình ảnh	Trường sáng STEM: hình ảnh tương phản pha (hình ảnh TE) Nền đen STEM: hỉnh ảnh tương phản – Z (hỉnh ảnh ZC) Hình ảnh điện tử thứ cấp (hỉnh ảnh SE) Nhiễu xạ điện tử* Phân tích đặc trưng tia X và lập bản đồ nguyên tố (EDX)* Phân tích EELS và lập bản đồ nguyên tố (EV3000)*
Quang điện tử	Nguồn điện tử	Phát xạ Schottky (w/o Cs-corrector) Phát xạ trường lạnh (w/Cs-Corrector, w/o Cs-corrector)
	Hệ thống thấu kính hội tụ	Thấu kính hội tụ 2 tầng
	Cs-corrector*	Thiết kế thấu kính truyền đa cực
	Cuộn quét	Cuộn từ trường 2 tầng
	Bộ điều khiển góc thu ZC	Thiết kế thấu kính rọi
	Dịch ảnh trường điện	±1um
Đế mẫu	Dịch chuyển đế mẫu	X/Y = ±1mm, Z = ±0.4mm
	Nghiêng mẫu	Hố giữ mẫu nghiêng đơn: ±300 (Std. Léns) ±180 (HR lens)